Fluorid uhličitý (CF₄) je sloučenina- obsahující fluor se stabilními chemickými vlastnostmi. V atmosféře zůstává až 50 000 let, má vysoký skleníkový efekt a není šetrný k životnímu prostředí. Uhlovodíkové produkty mohou být použity jako alternativy k CF4.
CF4 se používá jako plazmový leptací plyn při výrobě jemných obvodů na tenkovrstvých materiálech, jako je křemík, oxid křemičitý a nitrid křemíku. Díky extrémně nízkému bodu varu (-128 stupňů) je vhodný pro supravodivý výzkum, kryogenní chirurgii a chladicí zařízení pro infračervenou detekci. Používá se také jako ochranný plyn při tavení kovů (jako je hliník a nerezová ocel) a jako syntetická přísada v plastikářském průmyslu.
CF₄ je ne-toxický a ne-hořlavý, ale jeho vysoké koncentrace mohou snížit parciální tlak kyslíku a způsobit udušení (příznaky zahrnují závratě a kóma). CF4 by měl být skladován mimo zdroje tepla (skladovací teplota menší nebo rovna 30 stupňům) a vyvarujte se smíchání s hořlavými materiály a oxidačními činidly. CF₄ v lahvích musí být chráněny pryžovým kroužkem, aby se zabránilo fyzickému nárazu.
Populární Tagy: fluorid uhlíku (cf₄) leptací plyn, Čína výrobci, dodavatelé, továrna
